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SJ 3248-1989 重掺砷化镓和磷化铟载流子浓度的红外反射测试方法

SJ 3248-1989 重掺砷化镓和磷化铟载流子浓度的红外反射测试方法

SJ 3248-1989

行业标准-电子强制性

标准详情

内容简介

本标准规定了红外反射法测量重掺砷化镓和磷化铟载流子浓度的测量原理,仪器设备、样品制备、测量步骤。结果计算和精度等。 本标准适用于测量重掺砷化镓和磷化锢单晶载流子浓度,也适用于测量外延层的载流子浓度。

起草单位

起草人

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