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T/IAWBS 001-2017 碳化硅单晶

T/IAWBS 001-2017 碳化硅单晶

T/IAWBS 001-2017

团体标准推荐性

标准详情

  • 标准名称:碳化硅单晶
  • 标准号:T/IAWBS 001-2017
    中国标准分类号:
  • 发布日期:2017-12-20
    国际标准分类号:
  • 实施日期:2017-12-31
    团体名称:
  • 标准分类:

内容简介

本标准规定了4H及6H碳化硅单晶的必要的相关性术语、产品分类、技术要求、试验方法、检测规则以及标志、包装、运输、贮存等。 本标准适用于物理气相传输法制备的4H及6H碳化硅单晶。产品主要用于制作半导体照明、电力电子器件及微波器件的外延衬底。

起草单位

起草人

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