SJ/T 11505-2015 蓝宝石单晶抛光片规范
内容简介
行业标准《蓝宝石单晶抛光片规范》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报,主管部门为工业和信息化部。本标准规定了衬底和红外探测器窗口用蓝宝石单晶抛光片的技术要求、测试方法、检验规则、标志、包装运输和贮存等内容。
起草单位
信息产业专用材料质量监督检验中心、合肥晶桥光电材料有限公司等、工业和信息化部电子工业标准化研究院、
起草人
何秀坤、李静、陈俊、
相近标准
20110055-T-469蓝宝石单晶衬底抛光片GB/T30858-2014蓝宝石单晶衬底抛光片硅单晶抛光片20151794-T-469硅单晶抛光片GB/T12964-2003硅单晶抛光片GB/T12964-2018硅单晶抛光片20110056-T-469蓝宝石单晶晶锭蓝宝石单晶晶棒GB/T31092-2014蓝宝石单晶晶锭20204894-T-469蓝宝石单晶晶棒
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