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SJ/T 11504-2015 碳化硅单晶抛光片表面质量的测试方法

SJ/T 11504-2015 碳化硅单晶抛光片表面质量的测试方法

SJ/T 11504-2015

行业标准-电子推荐性

标准详情

  • 标准名称:碳化硅单晶抛光片表面质量的测试方法
  • 标准号:SJ/T 11504-2015
    中国标准分类号:H83
  • 发布日期:2015-04-30
    国际标准分类号:29.045
  • 实施日期:2015-10-01
    技术归口:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
  • 代替标准:
    批准发布部门:工业和信息化部
  • 标准分类:电气工程半导体材料电子

内容简介

行业标准《碳化硅单晶抛光片表面质量的测试方法》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报,主管部门为工业和信息化部。本标准规定了碳化硅单晶抛光片表面质量的目视检验方法,观察样品表面的六方孔洞、划痕、凹坑、颗粒、沾污、亮点缺陷、裂纹、崩边的数量并用钢板尺测量划痕的总长度等。

起草单位

中国电子科技集团公司第四十六研究所、工业和信息化部电子工业标准化研究院、

起草人

丁丽、周智慧、蔺娴、

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