T/ZZB 0044-2016 tdr系列单晶生长炉
内容简介
本标准规定了TDR系列单晶生长炉的术语和定义、产品分类、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、订购与供货、质量承若。本标准适用于直拉法单晶生长炉(以下简称“单晶炉”)。
起草单位
浙江晶盛机电股份有限公司
起草人
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