SJ/T 11554-2015 用电感耦合等离子体发射光谱法测定氢氟酸中金属元素的含量
内容简介
行业标准《用电感耦合等离子体发射光谱法测定氢氟酸中金属元素的含量》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。
起草单位
苏州晶瑞化学有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院等、同济大学、
起草人
刘兵、钱森林、王洪华、
相近标准
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