标准详情
- 标准名称:砷化镓和磷化铟材料载流子浓度剖面分布的测试方法-电化学电压电容法
- 标准号:SJ 3244.4-1989
- 中国标准分类号:CCS1,
- 发布日期:1989-03-20
- 国际标准分类号:441.457.
- 实施日期:1989-03-25
- 技术归口:
- 代替标准:
- 批准发布部门:
- 标准分类:综合电气工程半导体材料标准化管理与一般规定技术管理
1.1 本标准规定了电化学电压电容法测量的原理、仪器和电解液要求、测量步骤、测量结果的计算。 1.2 本标准适用于载流子浓度10^(14)~10(19)cm^(-3)的n型和P型砷化镓、磷化铟,也适用于铝镓砷和镓铟砷磷材料载流子浓度剖面分布的测量。
* 特别声明:资源收集自网络或用户上传,本网站所提供的电子文本仅供参考,请以正式出版物为准。电子文本仅供个人标准化学习、研究使用,不得复制、发行、汇编、翻译或网络传播等。如有侵权,请及时联系我们!