SEMI MF1617-2004 测试法测量表面钠,铝,钾和铁硅和EPI SUBSTRATES BY二次离子质谱
SEMI MF1617-2004 标准详情
- 标准号:SEMI MF1617-2004
- 中文标题:测试法测量表面钠,铝,钾和铁硅和EPI SUBSTRATES BY二次离子质谱
- 英文标题:TEST METHOD FOR MEASURING SURFACE SODIUM, ALUMINUM, POTASSIUM, AND IRON ON SILICON AND EPI SUBSTRATES BY SECONDARY ION MASS SPECTROMETRY
- 标准类别:国际半导体设备与材料协会
- 发布日期:2004-03-01
内容简介
Describes the determination of total sodium, aluminum, potassium, and iron on the surface of mirror-polished single crystal silicon and silicon epi substrates using SIMS.
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