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SJ/T 11552-2015 以布鲁斯特角入设P偏振辐射红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量

SJ/T 11552-2015 以布鲁斯特角入设P偏振辐射红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量

SJ/T 11552-2015

行业标准-电子推荐性

标准详情

  • 标准名称:以布鲁斯特角入设P偏振辐射红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量
  • 标准号:SJ/T 11552-2015
    中国标准分类号:H82
  • 发布日期:2015-10-10
    国际标准分类号:29.045
  • 实施日期:2016-04-01
    技术归口:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
  • 代替标准:
    批准发布部门:工业和信息化部
  • 标准分类:电气工程半导体材料电子

内容简介

行业标准《以布鲁斯特角入设P偏振辐射红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报,主管部门为工业和信息化部。本标准规定了以布鲁斯特角入射P偏振辐射红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量的方法。

起草单位

信息产业专用材料质量监督检验中心、苏州晶瑞化学有限公司等、工业和信息化部电子工业标准化研究院、

起草人

李静、何秀坤、刘兵、

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