标准详情
- 标准名称:砷化镓和磷化铟材料补偿度的测试方法
- 标准号:SJ 3244.5-1989
- 中国标准分类号:CCS1,
- 发布日期:1989-03-20
- 国际标准分类号:441.457.
- 实施日期:1989-03-25
- 技术归口:
- 代替标准:
- 批准发布部门:
- 标准分类:综合电气工程半导体材料标准化管理与一般规定技术管理
本标准适用于n型、P型砷化镓和磷化铟单晶及高阻衬底外延层,载流子浓度在1×lO^(12)~5×10^(15)cm^(-3)范围的半导体材料的补偿度的测试分析。原则上也适用于其他Ⅲ-V族化合物材料补偿度的测试分析。
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