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GB/T 44926-2024 纳米技术 微区表面及亚表面表征 光学暗场共焦显微法
GB/T 44926-2024 纳米技术 微区表面及亚表面表征 光学暗场共焦显微法
Nanotechnologies—Characterization of micro surface and sub surface—Optical dark-field confocal microscopy
GB/T 44926-2024
标准推荐性
内容简介
国家标准《纳米技术 微区表面及亚表面表征 光学暗场共焦显微法》由TC279（全国纳米技术标准化技术委员会）归口，主管部门为中国科学院。本文件描述了采用光学暗场共焦显微镜对微区表面及亚表面的表征方法。本文件适用于固体材料。
起草单位
哈尔滨工业大学、昆明物理研究所、北京微电子技术研究所、中国计量科学研究院、西安应用光学研究所、航天科工防御技术研究试验中心、
起草人
刘俭、 施玉书、 胡旭、 张云龙、 刘辰光、张树、李冬梅、冯慧、
相近标准
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