GB/T 4937.26-2023 半导体器件 机械和气候试验方法 第26部分:静电放电(ESD)敏感度测试 人体模型(HBM)
内容简介
国家标准《半导体器件 机械和气候试验方法 第26部分:静电放电(ESD)敏感度测试 人体模型(HBM)》由TC78(全国半导体器件标准化技术委员会)归口,主管部门为工业和信息化部(电子)。本文件依据元器件和微电路对规定的人体模型(HBM)静电放电(ESD)所造成损伤或退化的敏感度,建立了元器件和微电路的ESD测试、评价和分级程序。本文件的目的是建立一种能够复现HBM失效的测试方法,并为不同类型的元器件提供可靠、可重复的HBM ESD测试结果,且测试结果不因测试设备而改变。重复性数据可以保证HBMESD敏感度等级的准确划分及对比。半导体器件的ESD测试从本测试方法、机器模型(MM)测试方法(见IEC 60749-27)或IEC 60749(所有部分)中的其他ESD测试方法中选择。除另有规定外,本测试方法为所选方法。
起草单位
中国电子科技集团公司第十三研究所、安徽荣创芯科自动化设备制造有限公司、河北中电科航检测技术服务有限公司、佛山市川东磁电股份有限公司、河北北芯半导体科技有限公司、北京赛迪君信电子产品检测实验室有限公司、捷捷半导体有限公司、
起草人
高蕾、 张魁、 翟玉颖、 彭浩、 黄杰、 赵鹏、 黎重林、 颜天宝、 鲁世斌、迟雷、高金环、张瑞霞、徐昕、魏兵、金哲、
相近标准
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