SJ/T 11451-2022 扩散炉能源消耗规范
内容简介
行业标准《扩散炉能源消耗规范》由中国电子技术标准化研究院归口上报，主管部门为工业和信息化部。件规定了扩散炉能源消耗等级指标、可比单耗计算方法和评价规则。本文件适用于工作温度在400℃~1350℃的扩散/氧化、退火、合金工艺使用的扩散炉。
起草单位
北京北方华创微电子装备有限公司、、、中国电子技术标准化研究院、、、晶澳太阳能科技股份有限公司、、、株洲中车时代半导体有限公司、、、英利能源（中国）有限公司、、、北京赛西认证有限责任公司
起草人
李补忠、、、吴秀祥、、、孙朋涛、、、张颖、、、郝晓明、、、赵永猛、、、刘月雷、、、张红妹、、、张生春、、、李琳
相近标准
SJ/T11451-2013扩散炉能源消耗规范SJ/T11450—2023单晶炉能源消耗规范SJ/T11450-2013单晶炉能源消耗规范SJ/T11453-2013网带炉能源消耗规范JB/T5630-1991半导体器件扩散炉能耗分等SJ/T11668-2017电真空器件真空炉能源消耗规范SJ/T11452-2013电真空器件用推板炉能源消耗规范SJ/T11883-2022扩散炉热平衡和热效率及综合能耗的计算方法GB32050-2015电弧炉冶炼单位产品能源消耗限额
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