SJ/T 11183-2022 旋转式涂覆设备通用规范
内容简介
行业标准《旋转式涂覆设备通用规范》，主管部门为工业和信息化部。件规定了旋转式涂覆设备的术语和定义、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。本文件适用于泛半导体微纳加工光刻工艺制程中的旋转式涂覆设备（以下简称设备）。
起草单位
沈阳芯源微电子设备有限公司、中国电子技术标准化研究院
起草人
宗润福、徐春旭、刘正伟、冯亚彬
相近标准
SJ/T11576-2016喷雾式涂覆设备通用规范20233727-T-339电子设备用电位器第3部分：分规范旋转式精密电位器NB/T51068-2017煤矿在用设备齿轮油铁谱分析方法旋转式铁谱法SJ/T10025-1991KHX型旋转式滑动开关详细规范
* 特别声明：资源收集自网络或用户上传，本网站所提供的电子文本仅供参考，请以正式出版物为准。电子文本仅供个人标准化学习、研究使用，不得复制、发行、汇编、翻译或网络传播等。如有侵权，请及时联系我们！
相关推荐
-
现行
-
现行
-
现行
-
现行
-
现行