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YS/T 38.3-2023 高纯镓化学分析方法 第3部分:痕量杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法

YS/T 38.3-2023 高纯镓化学分析方法 第3部分:痕量杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法

YS/T 38.3-2023

行业标准-有色金属推荐性

标准详情

  • 标准名称:高纯镓化学分析方法 第3部分:痕量杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法
  • 标准号:YS/T 38.3-2023
    中国标准分类号:H17
  • 发布日期:2023-04-21
    国际标准分类号:77.04
  • 实施日期:2023-11-01
    技术归口:全国有色金属标准化技术委员会、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
  • 代替标准:
    批准发布部门:工业和信息化部
  • 标准分类:冶金有色金属制造业

内容简介

行业标准《高纯镓化学分析方法 第3部分:痕量杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法》,主管部门为工业和信息化部。件规定了高纯镓中痕量杂质元素含量的测定方法。本文件适用于高纯镓中痕量杂质元素含量的测定。各元素测定范围见表1。

起草单位

国合通用测试评价认证股份公司、国标(北京)检验认证有限公司、广东先导稀材股份有限公司、南京金美镓业有限公司、厦门市科力电子有限公司、北京清质分析技术有限公司、贵研检测科技(云南)有限公司、合肥中晶新材料有限公司

起草人

刘红、刘鹏宇、胡芳菲、杨复光、赵景鑫、孙道儒、朱赞芳、汪洋、李俊需、李铭、马媛、程平

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