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YS/T 1654-2023 氮化镓化学分析方法 痕量杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法

YS/T 1654-2023 氮化镓化学分析方法 痕量杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法

YS/T 1654-2023

行业标准-有色金属推荐性

标准详情

  • 标准名称:氮化镓化学分析方法 痕量杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法
  • 标准号:YS/T 1654-2023
    中国标准分类号:H17
  • 发布日期:2023-12-20
    国际标准分类号:77.04
  • 实施日期:2024-07-01
    技术归口:全国有色金属标准化技术委员会、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
  • 代替标准:
    批准发布部门:工业和信息化部
  • 标准分类:冶金有色金属制造业

内容简介

行业标准《氮化镓化学分析方法 痕量杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法》,主管部门为工业和信息化部。件规定了氮化镓中杂质元素含量的测定方法。本文件适用于氮化镓中杂质元素含量的测定。各元素测定范围见表1。

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