SEMI E31-1993 标准详情
- 标准号：SEMI E31-1993
- 中文标题：规范电气接口，仅适用于日本
- 英文标题：Specification for electrical interface,Japan only
- 标准类别：国际半导体设备与材料协会
- 发布日期：1993
SEMI E31-1993 规范电气接口，仅适用于日本
内容简介
It ensures common electrical interfaces fulfill the requirements of equipment users/suppliers in the Japan region and to improve the design and functionality of semiconductor equipment manufacturing facilities in the future.
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