SEMI F11-1998 标准详情
- 标准号：SEMI F11-1998
- 中文标题：测试方法获得的指示管接头连接的热特性的用碳氟材料
- 英文标题：TEST METHOD TO OBTAIN AN INDICATION OF THE THERMAL CHARACTERISTICS OF TUBE FITTING CONNECTIONS MADE OF FLUOROCARBON MATERIALS
- 标准类别：国际半导体设备与材料协会
- 发布日期：1998-09-01
SEMI F11-1998 测试方法获得的指示管接头连接的热特性的用碳氟材料
内容简介
Gives a uniform method to determine the thermal characteristics of tube fitting connections manufactured from fluorocarbon materials. It is used to characterize tube fitting connections based on data created under set conditions but the results are n
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