ISO/DIS 14706-2013 标准详情
- 标准号:ISO/DIS 14706-2013
- 中文标题:表面化学分析, ( TXRF )光谱表面元素污染的硅晶片上通过全反射X射线荧光法测定
- 英文标题:Surface chemical analysis. Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy
- 标准类别:国际标准化组织ISO
- 发布日期:
