DIN 50434 材料的半导体技术，检测使用蚀刻技术在{ 111}和{ 100 }面的单晶硅晶体缺陷测试
DIN 50434 标准详情
- 标准号：DIN 50434
- 中文标题：材料的半导体技术，检测使用蚀刻技术在{ 111}和{ 100 }面的单晶硅晶体缺陷测试
- 英文标题：Testing of materials for semiconductor technology; detection of crystal defects in monocrystalline silicon using etching techniques on {111} and {100} surfaces
- 标准类别：德国标准DIN
- 发布日期：
内容简介
The method specified is used to detect crystal defects as described in clause 2 in monocrystalline silicon samples, preferably in slice form, with polished or polish-etched surfaces oriented in the {111} and {100} planes by defect etching. The method
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