DIN EN 62047-21 (2012-11) 标准详情
- 标准号：DIN EN 62047-21 (2012-11)
- 中文标题：
- 英文标题：Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 21: Test method for Poisson's ratio of thin film MEMS materials (IEC 47F/127/CD:2012)
- 标准类别：德国标准DIN
- 发布日期：
DIN EN 62047-21 (2012-11)
内容简介
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