YS/T 1392-2020 氯硅烷组分含量的测定 气相色谱法
内容简介
行业标准《氯硅烷组分含量的测定 气相色谱法》，主管部门为工业和信息化部。本标准规定了气相色谱法测定多晶硅生产用氯硅烷中各组分含量的方法。本标准适用于多晶硅生产用氯硅烷中各组分含量的测定。测定范围(体积分数):二氯二氢硅为0.01 %~20 %,三氯氢硅、四氯化硅为0.01 %~100 %。
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