DIN 50457-1 标准详情
- 标准号：DIN 50457-1
- 中文标题：测试材料对半导体技术 - 测定的体积分数的组成部分在掺杂混合气体通过湿化学方法 - 第1部分：乙硼烷在氢气混合乙硼烷
- 英文标题：Testing Of Materials For Semiconductor Technology - Determination Of The Volume Fraction Of Components In Dopant Gas Mixtures By Wet-chemical Methods - Part 1: Diborane In Hydrogen Diborane Mixtures
- 标准类别：德国标准DIN
- 发布日期：
