DIN 28429 标准详情
- 标准号：DIN 28429
- 中文标题：真空技术 - 验收规范吸气剂离子泵
- 英文标题：Vacuum Technology - Acceptance Specifications For Getter Ion Pumps
- 标准类别：德国标准DIN
- 发布日期：
DIN 28429 真空技术 - 验收规范吸气剂离子泵
内容简介
Applies to sputter ion pumps 1) (hereinafter briefly referred to as pumps) with a nominal volume flow rate greater than 10l.s-1 and with the pressure range for the determination of the volume flow rate lying between 1,5.10-5 mbar and 1.10-9 mbar.
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