SJ/T 11495-2015 硅中间隙氧的转换因子指南
内容简介
行业标准《硅中间隙氧的转换因子指南》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。
起草单位
信息产业专用材料质量监督检验中心、苏州晶瑞化学有限公司等、工业和信息化部电子工业标准化研究院、
起草人
李静、何秀坤、刘兵、
相近标准
GB/T11712-1989用于X、γ线外照射放射防护的剂量转换因子20062373-T-469硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法SJ/T10625-1995锗单晶中间隙氧含量的红外吸收测量方法GB/T14144-2009硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法GB/T14144-1993硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法20060512-T-610硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法20151786-T-469硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法GB/T1557-1989硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法GB/T1557-2006硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法
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