SEMI E97-2000 标准详情
- 标准号：SEMI E97-2000
- 中文标题：临时规范CIM框架全局声明和抽象接口
- 英文标题：PROVISIONAL SPECIFICATION FOR CIM FRAMEWORK GLOBAL DECLARATIONS AND ABSTRACT INTERFACES
- 标准类别：国际半导体设备与材料协会
- 发布日期：2000-02-01
SEMI E97-2000 临时规范CIM框架全局声明和抽象接口
内容简介
Defines the global declarations used by all other components of the CIM Framework and also specifies the common architecture patterns that serve to functionally integrate CIM Framework components.
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