ASTM F576-2001 标准详情
- 标准号：ASTM F576-2001
- 中文标题：用椭圆对称法测量硅衬底上绝缘体厚度及折射指数的标准试验方法
- 英文标题：standard test method for measurement of insulator thickness and refractive index on silicon substrates by ellipsometry
- 标准类别：美国材料与试验协会ASTM
- 发布日期：2001
ASTM F576-2001 用椭圆对称法测量硅衬底上绝缘体厚度及折射指数的标准试验方法
内容简介
This standard was transferred to SEMI (www.semi.org) May 20031.1 This test method covers the measurement by ellipsometry of the thickness and refractive index of an insulator grown or deposited on a silicon substrate.1.2 This test method uses monochr
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