PD ISO/TR 19319-2013 标准详情
- 标准号：PD ISO/TR 19319-2013
- 中文标题：表面化学分析 - 基本的方法来测定横向分辨率束为基础的方法
- 英文标题：Surface chemical analysis — Fundamental approaches to determination of lateral resolution in beam-based methods
- 标准类别：欧洲PD
- 发布日期：2013-03-31
PD ISO/TR 19319-2013 表面化学分析 - 基本的方法来测定横向分辨率束为基础的方法
内容简介
Specifies- a; Functions and their relevance to lateral resolution- 1) Point spread function (PSF), 2) Line spread function (LSF), 3) Edge spread function (ESF), 4) Modulation transfer function (MTF), 5) Contrast transfer function (CTF). b; Experiment
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