BS EN 62047-18-2013 标准详情
- 标准号：BS EN 62047-18-2013
- 中文标题：半导体器件.微型机电装置.薄膜材料的弯曲测试方法
- 英文标题：Semiconductor devices. Micro-electromechanical devicesBend testing methods of thin film materials
- 标准类别：英国标准BS
- 发布日期：31 October 2013
BS EN 62047-18-2013 半导体器件.微型机电装置.薄膜材料的弯曲测试方法
内容简介
Describes the method for bend testing of thin film materials with a length and width under 1 mm and a thickness in the range between 0,1 [mu]m and 10 [mu]m.
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