ASTM F1228-89E01 标准详情
- 标准号：ASTM F1228-89E01
- 中文标题：测试方法可氧化（器质性）对碳晶片表面（过硫酸钾）
- 英文标题：Test Method for Oxidizable (Organic) Carbon on Wafer Surfaces (By Persulfate)
- 标准类别：美国材料与试验协会ASTM
- 发布日期：
ASTM F1228-89E01 测试方法可氧化（器质性）对碳晶片表面（过硫酸钾）
内容简介
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