ASTM F907-85 标准详情
- 标准号：ASTM F907-85
- 中文标题：对于晶圆的光刻胶旋涂旋转加速度的测量测试方法
- 英文标题：Test Method for Measurement of Rotational Acceleration of a Wafer for Photoresist Spin Coating
- 标准类别：美国材料与试验协会ASTM
- 发布日期：
ASTM F907-85 对于晶圆的光刻胶旋涂旋转加速度的测量测试方法
内容简介
CONTAINED IN VOL 10.05 1997Measures rotational acceleration of wafer spun on a photoresist spinner, Applies to measurement of rotational acceleration when requiring 3/4 revolution or more to accelerate the wafer to final rotational velocity, providin
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