ASTM F1152-1993 标准详情
- 标准号：ASTM F1152-1993
- 中文标题：硅片刻槽尺寸的标准测试方法
- 英文标题：standard test method for dimensions of notches on silicon wafers
- 标准类别：美国材料与试验协会ASTM
- 发布日期：1993
ASTM F1152-1993 硅片刻槽尺寸的标准测试方法
内容简介
1.1 This test method covers a nondestructive procedure to determine whether or not the dimensions of fiducial notches on silicon wafers fall within specified limits. 1.2 The values stated in SI units are to be regarded as the standard. The values gi
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