GB/T 24468-2009 半导体设备可靠性、可用性和维修性（RAM）的定义和测量规范
Specification for definition and measurement of semiconductor equipment reliability, availability, and maintainability(RAM)
内容简介
国家标准《半导体设备可靠性、可用性和维修性（RAM）的定义和测量规范》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
起草单位
中国电子技术标准化研究所、
起草人
黄英华、刘筠、张建勇、蒋迪宝、
相近标准
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