LST EN 62047-6-2010 标准详情
- 标准号：LST EN 62047-6-2010
- 中文标题：半导体器件 - 微机电装置 - 第6部分：轴向疲劳试验的薄膜材料的方法（ IEC 62047-6 ： 2009）
- 英文标题：Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 6: Axial fatigue testing methods of thin film materials (IEC 62047-6:2009)
- 标准类别：立陶宛标准LST
- 发布日期：2010-06-30
