ASTM F534-2002a 标准详情
- 标准号：ASTM F534-2002a
- 中文标题：硅片弯曲标准试验方法
- 英文标题：Standard Test Method for Bow of Silicon Wafers
- 标准类别：美国材料与试验协会ASTM
- 发布日期：2002
ASTM F534-2002a 硅片弯曲标准试验方法
内容简介
This standard was transferred to SEMI (www.semi.org) May 20031.1 This test method covers determination of the average amount of bow of nominally circular silicon wafers, polished or unpolished, in the free (non-clamped) condition. 1.2 This test met
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