EN ISO 14644-10-2013 洁净室和相关控制环境 - 第10部分：表面清洁度的化学浓度分级（ ISO 14644-10 ： 2013 ）
EN ISO 14644-10-2013 标准详情
- 标准号：EN ISO 14644-10-2013
- 中文标题：洁净室和相关控制环境 - 第10部分：表面清洁度的化学浓度分级（ ISO 14644-10 ： 2013 ）
- 英文标题：Cleanrooms and associated controlled environments - Part 10: Classification of surface cleanliness by chemical concentration (ISO 14644-10:2013)
- 标准类别：欧盟标准EN
- 发布日期：2013-03-01
内容简介
Describes the classification system for cleanliness of surfaces in cleanrooms with regard to the presence of chemical compounds or elements (including molecules, ions, atoms and particles).
* 特别声明：资源收集自网络或用户上传，本网站所提供的电子文本仅供参考，请以正式出版物为准。仅供个人标准化学习，研究使用。如有侵权，请及时联系我们！
