ISO 22415-2019 标准详情
- 标准号：ISO 22415-2019
- 中文标题：
- 英文标题：Surface chemical analysis -- Secondary ion mass spectrometry -- Method for determining yield volume in argon cluster sputter depth profiling of organic materials
- 标准类别：国际标准化组织ISO
- 发布日期：
ISO 22415-2019
内容简介
This document specifies a method for measuring and reporting argon cluster sputtering yield volumes of a specific organic material. The method requires one or more test samples of the specified material as a thin, uniform film of known thickness betw
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