CENELEC EN 62047-11-2013 标准详情
- 标准号：CENELEC EN 62047-11-2013
- 中文标题：半导体器件 - 微机电设备 - 第11部分：试验方法的自由站立材料线性热膨胀的微机电系统系数
- 英文标题：Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 11: Test method for coefficients of linear thermal expansion of free-standing materials for micro-electromechanical systems
- 标准类别：欧盟标准EN
- 发布日期：
