ASTM F1238-95 标准详情
- 标准号：ASTM F1238-95
- 中文标题：标准规范耐火硅化物溅射靶材的微电子应用
- 英文标题：Standard Specification for Refractory Silicide Sputtering Targets for Microelectronic Applications
- 标准类别：美国材料与试验协会ASTM
- 发布日期：
ASTM F1238-95 标准规范耐火硅化物溅射靶材的微电子应用
内容简介
CONTAINED IN VOL. 10.04, 2006Applies to sputtering targets constructed from metallic silicides (titanium, molybdenum, tungsten and tantalum silicide).These targets are known as refractory silicide targets and are for use in microelectronic applicatio
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