ISO 25178-603-2013 产品几何技术规范(GPS).表面纹理:平面.第603部分:非接触(相移干涉计的显微检查)仪器标称特征
ISO 25178-603-2013 标准详情
- 标准号：ISO 25178-603-2013
- 中文标题：产品几何技术规范(GPS).表面纹理:平面.第603部分:非接触(相移干涉计的显微检查)仪器标称特征
- 英文标题：Geometrical product specifications (GPS) -- Surface texture: Areal -- Part 603: Nominal characteristics of non-contact (phase-shifting interferometric microscopy) instruments
- 标准类别：国际标准化组织ISO
- 发布日期：2013-09-25
内容简介
ISO 25178-603:2013 describes the metrological characteristics of phase-shifting interferometric (PSI) profile and areal surface texture measuring microscopes.
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