ISO 14701-2018 标准详情
- 标准号：ISO 14701-2018
- 中文标题：
- 英文标题：Surface chemical analysis -- X-ray photoelectron spectroscopy -- Measurement of silicon oxide thickness
- 标准类别：国际标准化组织ISO
- 发布日期：
ISO 14701-2018
内容简介
This document specifies several methods for measuring the oxide thickness at the surfaces of (100) and (111) silicon wafers as an equivalent thickness of silicon dioxide when measured using X-ray photoelectron spectroscopy. It is only applicable to f
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