I.S. EN 62047-18-2013 标准详情
- 标准号：I.S. EN 62047-18-2013
- 中文标题：
- 英文标题：Semiconductor Devices - Micro-electromechanical Devices - Part 18: Bend Testing Methods of Thin Film Materials (iec 62047-18:2013 (eqv))
- 标准类别：爱尔兰国家标准I.S.
- 发布日期：
I.S. EN 62047-18-2013
内容简介
Describes the method for bend testing of thin film materials with a length and width under 1 mm and a thickness in the range between 0,1 [mu]m and 10 [mu]m.
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