ASTM F518-77E01 标准详情
- 标准号：ASTM F518-77E01
- 中文标题：实践确定光刻胶的有效附着于硬表面光罩银行和半导体晶圆蚀刻过程
- 英文标题：Practice for Determining Effective Adhesion of Photoresist to Hard-Surface Photomask Banks and Semiconductor Wafers During Etching
- 标准类别：美国材料与试验协会ASTM
- 发布日期：
ASTM F518-77E01 实践确定光刻胶的有效附着于硬表面光罩银行和半导体晶圆蚀刻过程
内容简介
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