IEC 62047-26-2016 标准详情
- 标准号：IEC 62047-26-2016
- 中文标题：半导体器件 微型机电设备 第26部分:微沟槽和针形结构的描述和测量方法
- 英文标题：Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Part 26:Description and measurement methods for micro trench and needle structures
- 标准类别：国际电工委员会IEC
- 发布日期：2016-01-07
