IEC 62047-17 Ed. 1.0 标准详情
- 标准号：IEC 62047-17 Ed. 1.0
- 中文标题：
- 英文标题：Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 17: Bulge test method for measuring mechanical properties of thin films
- 标准类别：国际电工委员会IEC
- 发布日期：
IEC 62047-17 Ed. 1.0
内容简介
IEC 62047-17-2015 Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Part 17:Bulge test method for measuring mechanical properties of thin films specifies the method for performing bulge tests on the free-standing film that is bulged within a wi
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