ASTM F1259M-1996 检测由电迁移造成的喷镀金属开路或阻力增加失效率用的平板、直线试验结构设计的标准指南(米制单位)
ASTM F1259M-1996 标准详情
- 标准号：ASTM F1259M-1996
- 中文标题：检测由电迁移造成的喷镀金属开路或阻力增加失效率用的平板、直线试验结构设计的标准指南(米制单位)
- 英文标题：Standard Guide for Design of Flat, Straight-Line Test Structures for Detecting Metallization Open-Circuit or Resistance-Increase Failure Due to Electromigration [Metric]
- 标准类别：美国材料与试验协会ASTM
- 发布日期：1996
内容简介
1.1 This guide covers recommended design features for test structures used in accelerated stress tests, as described in Test Method F 1260, to characterize the failure distribution of interconnect metallizations that fail due to electromigration. 1.
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