ASTM F1374-1992(1999) 内部的离子/有机萃取物的标准测试方法表面-IC / GC / FTIR气体分配系统组件
ASTM F1374-1992(1999) 标准详情
- 标准号：ASTM F1374-1992(1999)
- 中文标题：内部的离子/有机萃取物的标准测试方法表面-IC / GC / FTIR气体分配系统组件
- 英文标题：Standard Test Method for Ionic/Organic Extractables of Internal Surfaces-IC/GC/FTIR for Gas Distribution System Components
- 标准类别：美国材料与试验协会ASTM
- 发布日期：1992
内容简介
1.1 This test method establishes a procedure for testing components used in ultra-high-purity gas distribution systems for ionic and organic surface residues. 1.2 This test method applies to in-line components containing electronics grade materials
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