ISO 13084-2018 标准详情
- 标准号：ISO 13084-2018
- 中文标题：
- 英文标题：Surface chemical analysis -- Secondary ion mass spectrometry -- Calibration of the mass scale for a time-of-flight secondary ion mass spectrometer
- 标准类别：国际标准化组织ISO
- 发布日期：
ISO 13084-2018
内容简介
This document specifies a method to optimize the mass calibration accuracy in time-of-flight secondary ion mass spectrometry (SIMS) instruments used for general analytical purposes. It is only applicable to time-of-flight instruments but is not restr
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