BS EN 62047-22-2014 半导体器件，微机电装置，机电产品的拉伸试验方法对导电性薄膜在柔性衬底上
BS EN 62047-22-2014 标准详情
- 标准号：BS EN 62047-22-2014
- 中文标题：半导体器件，微机电装置，机电产品的拉伸试验方法对导电性薄膜在柔性衬底上
- 英文标题：Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Electromechanical tensile test method for conductive thin films on flexible substrates
- 标准类别：英国标准BS
- 发布日期：31 October 2014
内容简介
Defines a tensile test method to measure electromechanical properties of conductive thin micro-electromechanical systems (MEMS) materials bonded on non-conductive flexible substrates.
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