ISO/DIS 14644-12-2013 标准详情
- 标准号:ISO/DIS 14644-12-2013
- 中文标题:洁净室及相关受控环境,第12部分:空气洁净度由纳米颗粒浓度分类
- 英文标题:Cleanrooms and associated controlled environments. Part 12:Classification of air cleanliness by nanoscale particle concentration
- 标准类别:国际标准化组织ISO
- 发布日期:
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